Hans H. Gatzen,
Volker Saile,
Jürg Leuthold
Micro and Nano Fabrication
Tools and Processes
Gebonden Engels 2015 2015e druk 9783662443941
Verwachte levertijd ongeveer 9 werkdagen
Samenvatting
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.
Specificaties
ISBN13:9783662443941
Taal:Engels
Bindwijze:gebonden
Aantal pagina's:521
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
Druk:2015
Lezersrecensies
Wees de eerste die een lezersrecensie schrijft!
Inhoudsopgave
<p>Introduction-MEMS, a Historical Perspective.- Vacuum Technology.- Deposition Technologies.- Etching Technologies.- Doping and Surface Modification.- Lithography.- LIGA.- Nanofabrication by Self-Assembly.- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding.- Enabling Technologies II - Contamination Control.- Device Fabrication - An Example.</p>
Rubrieken
- advisering
- algemeen management
- coaching en trainen
- communicatie en media
- economie
- financieel management
- inkoop en logistiek
- internet en social media
- it-management / ict
- juridisch
- leiderschap
- marketing
- mens en maatschappij
- non-profit
- ondernemen
- organisatiekunde
- personal finance
- personeelsmanagement
- persoonlijke effectiviteit
- projectmanagement
- psychologie
- reclame en verkoop
- strategisch management
- verandermanagement
- werk en loopbaan